• Những ngày cuối cùng
Cuối mùa Thu năm Nhâm Tuất (1742), Tổ chỉ bệnh nhẹ. Vào giữa tháng mười, Tổ gọi đồ chúng mà bảo: “Ngô tương quy hĩ, thế duyên dĩ tận = Duyên đối với thế gian đã hết, Tôi sắp về vậy!”. Mọi người đứng bên đều khóc. Tổ dạy: “Quý vị tại sao lại buồn khóc? Chư Phật xuất thế còn thị hiện Niết bàn. Tôi nay đến đi rõ ràng, về ắt có chỗ. Quý vị hãy vâng hành đừng có buồn khóc!”.
Vào tháng 11 năm Nhâm Tuất, trước khi mất vài ngày, Tổ ngồi ngay thẳng viết thi kệ thị tịch như sau:
“Thất thập dư niên thế giới trung
Không không sắc sắc diệc dung thông
Kim triêu nguyện mãn hoàn gia lý
Hà tất bôn man vấn Tổ tông”.
Nghĩa là:
“ Hơn bảy mươi năm giữa cõi đời
Không không sắc sắc thảy dung thông
Sáng nay nguyện mãn về quê cũ
Nào phải bôn ba hỏi Tổ Tông”.
Sau khi viết xong thi kệ thị tịch, Tổ dạy môn đồ rằng: “Câu nói sau cùng của Lão Tăng sống đạo là gì? Lồng lộng nguy nga, huy hoàng rực rỡ. Xưa đến, nay đi. Muốn hỏi chỗ trọng yếu đến đi thế nào? Kìa trời biếc lắng trong, trăng thu vằng vặc, toàn thân hiển lộ nơi sa giới đại thiên. Lời pháp sau cùng của ta, quý vị hãy nghĩ suy, vô thường nhanh chóng, Bát nhã phải tinh cần học tập. Đừng vội quên lời ta, mỗi vị hãy tự mình tinh tấn lên!”.
Ngày 22 tháng 11 năm Nhâm Tuất, tức ngày 18 tháng 12 năm 1742, sau khi uống trà, pháp thoại và hành lễ buổi sáng xong, Tổ hỏi mấy giờ? Môn đồ đáp là giờ Mùi, Tổ liền an nhiên thị tịch.
Tổ hưởng thọ 76 tuổi, ghi theo bia ký; Tổ hưởng thọ 74 tuổi, tính theo niên đại sinh và tịch, 43 năm được truyền y bát, 34 năm thuyết pháp độ sanh, đệ tử xuất gia kế thừa pháp có 49 vị, đệ tử tại gia có đến ngàn, vạn người.
Chúa Võ Vương - Nguyễn Phúc Khoát (1738 – 1765) quý trọng đạo hạnh của Tổ, cung kính dâng lên Tổ thụy hiệu: “Chánh Giác Viên Ngộ Hòa Thượng” để khắc vào bia.
Sau khi Tổ viên tịch gần ba tháng, nhục thân của Ngài đã được môn đồ cung tiễn đến nhập bảo tháp vào ngày 19 tháng 2 năm Quý Hợi (1743).